湿度控制气液配气系统

湿度控制气液配气系统（Gas and Liquid Distribution System with Humidity Control）

基本信息

型号：DGL-III

品牌：艾立特(Elite Tech)

规格参数

01）气路通道包括1路背景气体、2路目标气体和1路目标液体；2路湿气气路（干气和湿气）

背景气路：满量程1 slm，控制范围2%~100%（20 sccm~1000 sccm）；

目标气路1：满量程100 sccm，控制范围2%~100%（2~100 sccm）；

目标气路2：满量程5 sccm，控制范围2%~100%（0.1~5 sccm）；

目标气路3：液体气路，1.26 pL/min，液体蒸发控温范围：室温~250℃；

湿气气路1：满量程1 slm，控制范围2%~100%（20 sccm~1000 sccm）；

湿气气路2：满量程1 slm，控制范围2%~100%（20 sccm~1000 sccm）。

02）全自动配气，可程序式设定配气流程，支持两种控制模式

浓度模式：程序设定配气流程，如设定好气源或液源信息，配气的流速、浓度、时间、循环等信息，系统即可自动进行配气

流量模式：单独设定各气路的流量进行配气

03）防腐性能：耐各类强腐蚀性气体（如硫化氢）以及各类易挥发性液体（如甲醛溶液）

04）稀释比例：气体最大稀释比例10000:1（氮气），液体最大可稀释至10 ppb（乙醇）

05）湿度控制：范围2%RH~90%RH，可扩展湿度范围0.5%RH~95%RH；精度±0.8%RH，稳定度0.1%RH（RT标定）

06）配置便携式气体传感器分析模块，蓝牙传输，安卓手机APP实时检测分析数据（电阻和浓度均可输出），支持传感器测量与标定，提供标准传感器接口和微型传感器测量腔：体积<60mL，动态气氛切换快

07）气路规格：内部均采用1/4规格的316L不锈钢管连接

08）标定：N2标定

09）通讯接口：USB